高压真空断路器具有良好的灭弧特性、适于频繁操作、寿命长、检修维护工作量小、防燃、防爆、运行可靠性高的特点，但断路器真空度不易检验，可能会造成三相不同步的问题
真空灭弧室是真空断路器的主要元件。
维护时应检查外观有无异常、外表面有无污损，如果绝缘外壳表面沾污，应用干布擦拭干净。
动静触头累积磨损厚度超过3mm，就应更换真空管。
真空度的检查主要通过工频耐压法检查，真空断路器处于开断状态，在真空灭弧管的触头间加上规定的预防性工频试验电压，应无异常。
每一次维护，都要对真空断路器的触头开距、压缩行程、三相同步性进行检查及调整。
高压带电部分指真空灭弧室的静导电杆和动导电杆接到主回路端子接通电路的部分
维修时应检查导电部分有无变色、断裂及锈蚀；固定联接部分元件有无松动；绝缘有无破损、污损。
测试主回路相对地、相与相之间及绝缘提升杆的绝缘电阻应不小于规定值。
断路器在分、合闸状态下分别进行主回路相对地、相间及断口的交流耐压试验，应合格；绝缘提升杆在更换或干燥后必须进行耐压试验。
测试真空灭弧室两个端子之间、主回路端子之间的接触电阻。应不大于规定值。
操作机构部分一般采用电磁机构、电动或手动弹簧储能操作机构。
维修时应检查紧固元件有无松动，各种元件是否生锈、变形及损伤；更换不合格的部件，并涂上防锈油。
重复进行分合闸操作试验、自由脱扣试验、通电合闸操作试验，断路器应无异常。
在120%~65％的额定电压范围内，电磁操作机构分合闸操作应无异常；30%额定分闸电压进行操作时，应不得分闸。在110%~85％的额定电压范围内分合闸操作应无异常。
控制电路是操作断路器所不可缺少的部分。
检查各个接线端子，有无松动变色；
微动开关、辅助开关的动作是否到位、触头有无烧损；
各个电气及控制回路元件的绝缘电阻应不少于2MΩ。
分、合线圈及合闸接触器线圈的直流电阻值与产品出厂试验值相比应无明显差别。
有手持遥控装置的，还要进行遥控测试，其直线遥控距离一般不低于8m。
需要用手接触真空断路器进行维护的，断路器必须处于开断状态，同时还应断开主回路和控制回路，并将主回路可靠接地。
采用储能弹簧操作机构的断路器，要松开合闸弹簧后才能维修。